?新材料半導(dǎo)體廢氣處理。與傳統(tǒng)材料相比，新材料產(chǎn)業(yè)具有技術(shù)密集度高、研發(fā)投入高、產(chǎn)品附加值高、國際化生產(chǎn)和市場強(qiáng)、應(yīng)用范圍廣、發(fā)展前景好等特點(diǎn)。其R&D水平和工業(yè)化規(guī)模已成為衡量一個(gè)國家經(jīng)濟(jì)、社會(huì)發(fā)展、科技進(jìn)步和國防實(shí)力的重要標(biāo)志。世界各國，特別是發(fā)達(dá)國家，都非常重視新材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

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新材料半導(dǎo)體廢氣處理?

半導(dǎo)體作為新材料行業(yè)的代表之一，對操作間的潔凈度要求極高，通常采用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中揮發(fā)的各種廢氣。因此，半導(dǎo)體具有排氣量大，排放濃度低的特點(diǎn)。這些排放物可分為四類:酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。

RTO再生式焚燒爐設(shè)備，簡稱“RTO設(shè)備”，是一種利用高溫破壞焚燒的廢氣處理技術(shù)。一般用電和天然氣作為加熱能源。廢氣處理雖然是在700℃的高溫下使用，但實(shí)際上消耗的能量很少。這是因?yàn)樵撛O(shè)備可以回收熱能，大大降低能耗，提高廢氣分子的燃燒反應(yīng)速率。設(shè)備主體由燃燒室、陶瓷填充床和換向閥組成。設(shè)備的凈化效率也穩(wěn)定保持在99%以上。